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rpecvds

abbr. reactive plasma enhanced chemical vapor deposition 反應(yīng)等離子體增強(qiáng)化學(xué)汽相淀積; remote plasma enhanced chemical vapor deposition 遙控等離子體增強(qiáng)化學(xué)汽相淀積
(rpecvd 的復(fù)數(shù))

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