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 英

  • 網(wǎng)絡(luò)深反應(yīng)離子刻蝕(deep reactive ion etching);反應(yīng)離子刻蝕技術(shù);深反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)

例句

Fabrication of Ultra Deep Electrical Isolation Trenches with High Aspect Ratio Using DRIE and Dielectric Refill

反應(yīng)離子介質(zhì)填充技術(shù)制造具有高深隔離

Trench Profile Control of Silicon DRIE Process on ICP Tools

ICP深刻側(cè)形貌控制研究

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